包裝:采用40L、49L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中。
用途:用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、冶煉、切割、焊接等。
理化性質: 氬氣的性質非常穩定,既不能燃燒,也不助燃,但在高濃度時有窒息作用。當空氣中氬氣濃度高于33%時就有窒息的危險。當氬氣濃度超過50%時,出現嚴重癥狀,濃度達到75%以上時,能在數分鐘內死亡。液氬可以傷皮膚,眼部接觸可引起炎癥。
注意事項:密閉操作,提供良好的自然通風條件。操作人員必須經過專門培訓,嚴格遵守操作規程。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。遠離易燃、可燃物。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物分開存放,切忌混儲。 一般不需特殊防護,當作業場所空氣中氧氣濃度低于18%時,必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長管面具